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高精度光学膜厚控制系统(UMS/SOMS系统)

      

30年的研发、制造和大规模生产经验,产品涵盖从深紫外到远红外的所有光波段。在可见光和近红外中高端产品的生产中,探索发明出一套独特的,领先业界的UMS (均匀性管理系统) SOMS (超高精度光学膜厚控制系统) 过程监控技术,有效解决了产品均匀性控制的世界难题。该技术能够实现对整个镀膜过程的全自动控制,使得制造能力得到飞越提高,同时数倍扩大生产能力,并保证产品的稳定性和一致性,使后续过程实现自动化和批量化。在今后的若干年内,该技术都会在世界保持领先地位。


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